綠色製造重要里程碑！台積電有害化學品減量95％

今年10月成功完成機台修改及替代製程驗證，達成於永續報告書設立「NMP使用量減少95%」的年度目標。（台積電提供）

〔記者洪友芳／新竹報導〕台積電營運資深副總經理秦永沛指出，使用無毒又環保的綠色原物料是台積電有害物質管理的目標，在同仁努力下，終於克服困難，達成危害性化學品N-甲基吡咯烷酮（N-Methyl-2-Pyrrolidone, NMP）減量95%，這是台積電推動綠色製造的重要里程碑，期能完成100%替代，將原物料的健康與環境風險降至最低。

台積電秉持對有害物質管理的承諾，確保製程使用的化學品完全符合國際法規與客戶要求，2016年即領先國內業界針對危害性化學品N-甲基吡咯烷酮（NMP）啟動減量計畫，今年10月成功完成機台修改及替代製程驗證，達成於永續報告書設立「NMP使用量減少95%」的年度目標，約當年減7800公噸二氧化碳當量的碳足跡，持續提升綠色製造能力。

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台積電表示，有害物質管理以QC 080000有害物質流程管理系統為標準，基於保護人體健康與降低環境衝擊，秉持能不用就不用、能少用就少用的原則，依規畫、執行、查核、行動的管理循環模式持續改善有害物質使用。

針對工業普遍使用的化學品NMP，台積電表示，主要將其做為製程中去光阻後清洗晶圓的溶劑，為降低人員暴露與環境汙染風險，公司超越法規要求，於2016年自主推動「去光阻濕式清洗製程NMP替代計畫」，7奈米（含）以下先進製程完全排除使用NMP，既有廠區則陸續進行替代作業，並訂定2030年台灣廠區達成100% NMP替代的目標。

藉由與客戶緊密合作，台積電各廠區工程部、製造部及濕蝕刻技術委員會除針對製程進行替代性材料評估外，因替換過程也須改變設備硬體與製程參數，在不影響產品良率的前提下，歷經多次配方調整、反覆測試，以達製程最適化，透過跨廠區合作於今10月完成去光阻濕式清洗製程機台修改，同時建立機台維修保養機制，確保後續生產品質無虞。

台積電表示，全方位的有害物質管理是台積電提升品質能力的重要一環，公司將進一步推動海外廠區執行NMP減量計畫，同時針對少量含NMP的光阻液進行替代可行性評估，以期達成100%不使用NMP的長期目標，保護員工與產業供應鏈安全，促進環境永續。

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